等離子體清洗機不分處理對象可以處理各種各樣的材質，無論是金屬、半導體、氧化物，還是高分子材料（如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環氧樹脂等高聚物）都可以使用等離子體清洗機來處理，因此特別適合于不耐熱以及不耐溶劑的材質，等離子清洗機還可以有選擇地對材料的整體、局部或復雜結構進行部分清洗；如金屬器材表面附著有油脂、油污等有機物和氧化層，在進行濺射、油漆、粘合、焊接、銅焊和PVD、CVD涂覆前，通過等離子清洗機的處理可以獲得潔凈和無氧化層的表面。等離子清洗機可以除去器材表面細小的油膜、銹跡或其他油類污物，而且在等離子清洗機工作后，不會在器材表面留下殘余物

等離子清洗機（Plasma Cleaner）又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子活化機、Plasma清洗機、等離子表面處理機、等離子清洗系統等。等離子處理機廣泛應用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場合。

在經過低溫等離子體清洗機的表面處理后，材料表面會發生多種物理、化學變化。可用于去除碳化氫類污物，如油脂，輔助添加劑等，或產生刻蝕而粗糙，或形成致密的交聯層，或引入含氧極性基團（羥基、羧基），通過等離子體清洗機的處理得到了表面親水性、拒水性、低摩擦、高度清潔、激活、蝕刻等各種表面改性。

應用等離子體清洗機處理表面可以得到非常薄的高張力涂層表面，有利于粘合、涂覆和印刷，不需其他機器、化學處理等強烈作用成份來增加粘合性。通過等離子清洗機的表面處理，能夠改善材料表面的潤濕能力，使多種材料能夠進行涂覆、涂鍍等操作，增強粘合力、鍵合力，同時去除有機污染物、油污或油脂，