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技術文章

等離子設備半導體行業應用
在光刻膠灰化、晶圓減薄和應力去除、打線前的bond pad清潔、封膠前的活化等應用中應用的微波等離子清洗機對硅、三五族化合物、鈮酸鋰等半導體材料進行處理。微波等離子體清洗機特別適合于處理對靜電敏感的器件
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